自动平衡气垫精密光学平台 工作原理:平台的每一个气腿上有一个定位开关,当平台低于开关时,阀门打开气泵开始充气。当 平台**定位开关时,阀门打开气腿自动放气。气垫隔振平台外形尺寸 1200×800×800mm 1500×1000×800mm 1800×1000×800mm 1800×1200×800mm 2000×1200×800mm 2400×1200×800mm 气垫隔振平台性能 平面粗糙度不大于0.8um 平面度不大于0.05mm/㎡ 振幅不大于3um 固有频率不大于3Hz 台面可调精度为0.2mm M6安装螺孔间距25×25mm或50×50mm 平台表面材质采用高导磁不锈钢板面